第二十一章 真空镀膜（下）（2/2）
《我有科研辅助系统》作者：肥美的韭菜 2021-04-23 07:40
在关舱门时，门缝处夹了一个塑料袋；
另一种情况是舱体内蒸镀残留物过多，需要清理。”
虽然系统里也有影像资料供许秋学习，但他觉得还是听学姐讲解更好一些。
主要是两个人站一起，一直不互动也蛮尴尬的。
……
一小时后。
真空计示数达到52e-5帕，升温程序也进入第二阶段，一切正常。
十二分钟后。
温度示数达到400摄氏度，膜厚仪显示的实时蒸镀速率，在-001至001埃每秒之间波动，膜厚显示仍为000埃。
三分钟后。
温度示数继续增加，直至480摄氏度左右，蒸镀速率开始在000至003埃每秒之间波动。
当温度达到520摄氏度后，蒸镀速率维持在020至030埃每秒。
许秋先开启样品台旋转，在等待了约十秒钟后，同时打开样品挡板并将膜厚仪的膜厚计数器归零。
钙要蒸镀10纳米的厚度，也就是100埃。
……
待膜厚仪示数达到100埃时，许秋迅速关闭样品挡板。
随后，他将束源炉升温数控装置关闭，让束源炉自然降温。
最后，将膜厚仪的参数改为铝的参数。
……
半小时后。
束源炉的温度降低至77摄氏度。
许秋关闭钙的束源炉挡板，打开电流加热装置。
这个加热装置很简单，就是把电源、钨篓、电位器（类似于滑动变阻器）、保险丝、电流计连在一起，通过调节电位器，便可以改变电路中的电流大小。
许秋缓慢扭动电位器的旋钮，使电流计示数从0逐渐增加至18安培。
当电流达到16安培时，膜厚仪上蒸镀速率开始有了示数。
电流达到18安培后，许秋等待了几秒，然后同时打开样品挡板并清零膜厚仪的膜厚计数器。
蒸镀速率则先是从02、03迅速提升至30，随后迅速回落至18，之后缓缓下降至17，16埃每秒……
电流计的示数也会随着时间变化，忽上忽下。
每当其相较于18的偏离值超过1时，许秋就将其调至18。
铝的厚度要求是100纳米，也就是1000埃。
……
待膜厚仪示数达到1000埃时，许秋迅速按下样品挡板。
然后缓缓扭动电位器，将电流归零。
接着关闭超真空挡板阀，停止分子泵。
等待十分钟后，分子泵转速从27000rpm降至0，关闭其开关。
最后，关闭机械泵，关闭总控台。
…………
“终于结束啦！”许秋长吁了一口气，感慨道。
“这么多操作，居然零失误，厉害呀！”陈婉清赞叹道。
“这都是学姐教的好。”许秋道。
“行啦，别谦虚了，你的科研天赋我心里有数。
想想我当初学蒸镀，可是没少让魏老师头疼，不是忘记开空气泵，就是忘开挡板，甚至还有一次忘记放基片了。”陈婉清道。
听到最后一句，许秋没忍住笑了出来。
看到学姐在瞪着他，他赶紧把笑容收敛住，面色严肃的向手套箱走去。
进入手套箱，许秋旋开舱门上下的旋钮，开始拉舱门。
咦，舱门怎么拉不下来？
琢磨了一会儿，许秋明白了，因为蒸镀结束后，舱体内部还是真空状态。
于是他转头看学姐，可她似乎并没有主动解答的意思。
这么记仇啊。
他只好问道：“学姐，这个怎么弄？”
陈婉清指了指手套箱侧面，说道：
“那边有一个接通氮气瓶的阀门，可以往蒸镀舱内充氮气。”
许秋走过去，轻轻旋开阀门，“嘶嘶”的气流声传来。
10秒后。
20秒后。
30秒后。
没什么动静啊。
“学姐，什么时候停下来呢？”许秋忍不住问道。
“继续放气。”陈婉清面无表情道。
“哦。”
40秒后。
50秒后。
60秒后，正当许秋打算再次发问时。
“砰！”
另一种情况是舱体内蒸镀残留物过多，需要清理。”
虽然系统里也有影像资料供许秋学习，但他觉得还是听学姐讲解更好一些。
主要是两个人站一起，一直不互动也蛮尴尬的。
……
一小时后。
真空计示数达到52e-5帕，升温程序也进入第二阶段，一切正常。
十二分钟后。
温度示数达到400摄氏度，膜厚仪显示的实时蒸镀速率，在-001至001埃每秒之间波动，膜厚显示仍为000埃。
三分钟后。
温度示数继续增加，直至480摄氏度左右，蒸镀速率开始在000至003埃每秒之间波动。
当温度达到520摄氏度后，蒸镀速率维持在020至030埃每秒。
许秋先开启样品台旋转，在等待了约十秒钟后，同时打开样品挡板并将膜厚仪的膜厚计数器归零。
钙要蒸镀10纳米的厚度，也就是100埃。
……
待膜厚仪示数达到100埃时，许秋迅速关闭样品挡板。
随后，他将束源炉升温数控装置关闭，让束源炉自然降温。
最后，将膜厚仪的参数改为铝的参数。
……
半小时后。
束源炉的温度降低至77摄氏度。
许秋关闭钙的束源炉挡板，打开电流加热装置。
这个加热装置很简单，就是把电源、钨篓、电位器（类似于滑动变阻器）、保险丝、电流计连在一起，通过调节电位器，便可以改变电路中的电流大小。
许秋缓慢扭动电位器的旋钮，使电流计示数从0逐渐增加至18安培。
当电流达到16安培时，膜厚仪上蒸镀速率开始有了示数。
电流达到18安培后，许秋等待了几秒，然后同时打开样品挡板并清零膜厚仪的膜厚计数器。
蒸镀速率则先是从02、03迅速提升至30，随后迅速回落至18，之后缓缓下降至17，16埃每秒……
电流计的示数也会随着时间变化，忽上忽下。
每当其相较于18的偏离值超过1时，许秋就将其调至18。
铝的厚度要求是100纳米，也就是1000埃。
……
待膜厚仪示数达到1000埃时，许秋迅速按下样品挡板。
然后缓缓扭动电位器，将电流归零。
接着关闭超真空挡板阀，停止分子泵。
等待十分钟后，分子泵转速从27000rpm降至0，关闭其开关。
最后，关闭机械泵，关闭总控台。
…………
“终于结束啦！”许秋长吁了一口气，感慨道。
“这么多操作，居然零失误，厉害呀！”陈婉清赞叹道。
“这都是学姐教的好。”许秋道。
“行啦，别谦虚了，你的科研天赋我心里有数。
想想我当初学蒸镀，可是没少让魏老师头疼，不是忘记开空气泵，就是忘开挡板，甚至还有一次忘记放基片了。”陈婉清道。
听到最后一句，许秋没忍住笑了出来。
看到学姐在瞪着他，他赶紧把笑容收敛住，面色严肃的向手套箱走去。
进入手套箱，许秋旋开舱门上下的旋钮，开始拉舱门。
咦，舱门怎么拉不下来？
琢磨了一会儿，许秋明白了，因为蒸镀结束后，舱体内部还是真空状态。
于是他转头看学姐，可她似乎并没有主动解答的意思。
这么记仇啊。
他只好问道：“学姐，这个怎么弄？”
陈婉清指了指手套箱侧面，说道：
“那边有一个接通氮气瓶的阀门，可以往蒸镀舱内充氮气。”
许秋走过去，轻轻旋开阀门，“嘶嘶”的气流声传来。
10秒后。
20秒后。
30秒后。
没什么动静啊。
“学姐，什么时候停下来呢？”许秋忍不住问道。
“继续放气。”陈婉清面无表情道。
“哦。”
40秒后。
50秒后。
60秒后，正当许秋打算再次发问时。
“砰！”